Pooljuhi gaasi kohaletoimetamine: 316L EP vs . Elektropoliiditud sulam c -276

 

Miks piisab inertsetest gaasidest 316L-EP-st?
Elektropolid 316L saavutab RA<0.15μm with particle shedding below 5 particles/ft³ >0 . 1μm . valideeritud lämmastiku/argooni kohaletoimetamiseks 99 . 9995% puhtus. Maksab 40% vähem kui samaväärse pinna viimistlusega sertifikaadiga niklisulamid.

 

Kui c -276 muutub kohustuslikuks?
Hüdriidgaaside (tuhka, b₂h₆) ja fluori ühendite jaoks . molybdenum (15-17%) takistab HF -i kõrvalsaadustest {. pinnasisaldust.<0.01% prevents catalytic decomposition. Required for 3nm node fabrication.

 

Lubatud metallilise saastumise tase?
Naatrium<0.01 ppb after 72-hour exposure. Iron <0.05 ppb at point of use. Total heavy metals (Ni+Cr+Mo) <0.1 ppb. Outgassing rate below 5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm² after vacuum baking.

 

Keevitusprotokolli kriitilised kontrollid?
Orbital GTAW with >99,999% argoonipuhastus (O₂<20ppm). Heat input <15 kJ/inch prevents sensitization. Internal purge maintained until ambient temperature. Helium leak testing <1×10⁻⁹ mbar·L/s mandatory.

 

Valideerimise testimise järjestus?
Aurufaasi lagundamine pinnametallide ICP-MS . lennuaja simsid orgaaniline kaardistamine . osakeste loendamine IEEST-STD-CC1246D klass {5. gaasi lagunemise analüüs 400-kraadisel simuleeritud teenusel.